产品简介
激光干涉测量可提供和可重复的校准方法,使用光的波长作为测量单位的基本原理在19世纪80年代左右开始提出。从那以后起,这一原理虽然历经发展和完善,但始终以测量光波干涉为依据,因此得名“干涉测量”。
激光系统射出的光波具有三种主要特性:
已知波长,可实现准确测量
波长非常短,可实现或高分辨率测量
所有光波相位相同,可根据已知的基准进行测量
干涉测量是一种相对运动测量(从初始位置开始测量),而不是一种测量(从特定位置开始测量)。
不同的光学镜组将激光光束穿过不同的路径,可从单个激光装置进行多种模式测量(例如,线性、角度、直线度)。
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